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化半導体をはじめ、多くの電子部品や精密部品の製造に欠かせないフォトエッチング技術。光学技術と化学技術の組み合わせ処理により、金型を使わないで複雑・微細な形状をミクロンレベルの精度で短時間に製作できる精密加工技術です。
加工可能な材質、板厚、及び最大加工サイズ
材     質 ステンレス KOVAR 42合金 アルミ ケイ素
厚さ(mm) 0.01〜2.0 0.01〜2.0 0.005〜10.0 0.05〜1.0 0.03〜1.0 0.01〜2.0 0.1〜0.5
最大加工サイズ 300×500 400×600 800×1000 300×500 800×1000 800×1000 400×500
材質(特殊材) MO Ti アモルファス
当社保有材料及び厚さによって
最大加工サイズは異なる場合があります。
厚さ(mm) 0.01〜0.2 0.05〜1.0 0.01〜0.3 0.01〜0.1
最大加工サイズ 150×350 200×300 200×300 200×350

寸  法  公  差
エッチング加工の性質上、素材の厚みと材質、およびサイドエッチング(アンダーカット)との関係で寸法と許容差が出てきます。
(1)穴の大きさ・金属の厚みに対する関係
原則として、ある穴の直径は金属の厚さ以下にすることはできません。
しかし、この関係は金属の厚さによって変化します。
金属の厚み(t) 穴の最小直径(D)
0.05mm以下 テスト加工できめる
0.05〜0.1mm 少なくとも金属の厚さの110%
0.1mm以上 少なくとも金属の厚さ
(2)最小加工寸法と公差
厚さ(t) 穴の最小寸法(D) 公  差
0.01 テスト加工 テスト加工に基づく
0.02〜0.05 テスト加工 テスト加工に基づく
0.1 0.1 ±0.01〜0.02
0.15〜0.2 0.15〜0.2 ±0.02
0.25 0.25 ±0.03
0.5 0.4 ±0.05
上記の最小加工寸法と公差の関係は、弊社のこれまでの実績に基づいていますが、 材質・数量によって変わりますので、設計の段階でご相談ください。
(3)線の幅と金属の厚さに対する関係
最小加工寸法と公差の関係と同様にお考えください。
しかし、線の長さと幅、板厚の関係が重要な問題となりますので、設計の段階でご相談ください。
(4)コーナーの形状
一般には、内角(R)よりも外角(r)のほうが鋭くエッチングされるため、 金属の厚さより小さい半径が得られます。原則として、内角は、板厚の80%、外角は板厚の50%以下とお考えください。
(5)断面の形状と金属の厚さに対する関係
(a)片面のみエッチングする場合
サイドエッチングが大きいために形状は図(a)のように、テーパーがつくと同時に、 寸法に対して精度が悪くなります。この場合、素材に対してAは約40%となるでしょう。
(b)両面エッチングの場合
テーパーが縮小され、Aは20%以内になります。
いずれの場合も素材の厚みによって形状が変化します。
ピ ッ チ 公 差
(1)ピッチ公差
10mm以下 ±0.005mm
10mm〜100mm ±0.01mm
100mm〜300mm ±0.01mm〜±0.03mm
(2)エッチングの公差
エッチング加工寸法の公差を決める要因は数多くあります。
しかし、すべてに適用できる絶対的で確定的な規則を求めることはできません。金属の種類、パターンの大きさ、生産性などによって違ってくるからです。通常、素材の厚さに対して±15%の許容差が受け入れられており、多くの場合の目安とされています。少量の場合は、上記の目安値以上の要求も満足させることができますが、 コストとの関係もあり、すべて話し合いによって公差が決められています。
測定方法 部品の形状、素材など多くの測定方法と器材がありますが、一般的には投影機による方法が主流とされています。


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